Optische Charakterisierung dünner dielektrischer Schichten

Optische Charakterisierung dünner dielektrischer Schichten

Hans K. Pulker (ORCID: )

Wissenschaftsdisziplinen

Physik, Astronomie (100%)

Keywords

    Thin Film, Ionplating, RLVIP IBAD, Photothermal Deflection Spectroscopy, Guided Wave Refractive Index, Extinction Coefficient, Absorption, Coefficient, Absorpt, IBAD, Photothermal D, Refractive Index, Ex, Spectroscopy, Guided, Thin Film, Ionplatin

Forschungsstätte(n)

Research Output

  • 18 Zitationen
  • 1 Publikationen
Publikationen
  • 1999
    Titel Gas pressures influence on the optical and mechanical properties of Ta2O5 films produced by reactive low voltage ion plating (RLVIP)
    DOI 10.1016/s0040-6090(99)00153-4
    Typ Journal Article
    Autor Strauss G
    Journal Thin Solid Films
    Seiten 53-56