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Bestimmung des ferromagnetischen Phasendiagrams in Nitriden

Determination of ferromagnetic phase diagram in nitrides

Alberta Bonanni (ORCID: 0000-0003-4425-0346)
  • Grant-DOI 10.55776/P22477
  • Förderprogramm Einzelprojekte
  • Status beendet
  • Projektbeginn 01.07.2010
  • Projektende 30.09.2013
  • Bewilligungssumme 384.919 €

Wissenschaftsdisziplinen

Physik, Astronomie (100%)

Keywords

    Diluted Magnetic Semiconductors, Spintronics, High Tc Ferromagnetism, GaN, Transition Metals, MOVPE

Abstract Endbericht

In den letzten Jahren wurden wesentliche Fortschritte erzielt, um neue Funktionalitäten ferromagnetischer Halbleiter als auch kombinierter Halbleiter- und ferromagnetischer Metallstrukturen zu demonstrieren. Die zu erwartenden Anwendungen für diese Systeme benötigen jedoch neue Materialien mit ferromagnetischer Ordnung bei oder über Raumtemperatur. Intensiven Forschungsaktivitäten in diese Richtung ist es zu verdanken, dass bisher Ferromagnetismus in einer Anzahl von Nitriden und Oxiden, dotiert mit Übergangsmetallen oder seltenen Erden, oder sogar in Materialien, welche nicht mit magnetischen Ionen dotiert wurden, nachgewiesen werden konnte. Diese experimentellen Resultate konnten in einigen Fällen theoretisch mittels ab-initio Kalkulationen vorhergesagt und simuliert werden, bei denen sich auch gezeigt hatte, dass der Grundzustand in einer Anzahl von verdünnten magnetischen Halbleitern ferromagnetischer Natur ist. Es zeigt sich jedoch auch immer deutlicher, dass diese Übereinstimmung zwischen Experiment und Theorie eher als zufällig angesehen werden muss und der eigentliche Ursprung von Ferromagnetismus bei hohen Temperaturen in Halbleitern noch nicht verstanden worden ist. Diese unbefriedigende Situation ist unter anderem dafür verantwortlich, dass bisher kein funktionierendes Bauelement basierend auf ferromagnetischen Halbleitern bei Raumtemperatur vorgestellt wurde. Es wird jedoch immer offensichtlicher, dass die Physik in diesen Systemen überaus herausfordernd ist, da sie Aspekte von stark korrelierten Systemen, ungeordneten Halbleitern und fehlangepassten Verbindungen vereint. Das Hauptziel des vorliegenden Projekts ist nun, unter Beiziehung der jüngsten Erkenntnisse in diesem Gebiet, das Auftreten von Löcher induziertem Ferromagnetismus in magnetisch verdünnten Nitriden zu demonstrieren und das entsprechende Phasendiagramm der Curietemperatur TC(x,p) als Funktion des Gehalts der Übergangsmetalle und der erzielten Löcherkonzentration in diesen Materialien zu erstellen. Im speziellen soll durch neuartiges Design der Bauelemente und durch die Verwendung von nanoanalytischen Charakterisierungsmethoden die Grundlage geschaffen werden, die Eigenschaften von Mn- und Mg-dotierten Heterostrukturen und Übergittern gezielt zu beeinflussen. Es wird erwartet, dass in diesen Strukturen Modulationsdotierung und elektrostatische Polarisation an Grenzflächen über parasitäre Effekte, wie die Aggregation magnetischer Ionen und die Lokalisation von Löchern durch starke p-d Wechselwirkung, welche auch als Ursprung des bisherigen Versagens bestehender Konzepte betrachtet werden, dominieren. Wir erwarten, dass die hier vorgeschlagene umfassende Vorgehensweise mit neuartigen experimentellen Ansätzen und Unterstützung durch theoretische Arbeiten essentielle Anstöße für eines der kontroversesten Themen im Gebiet des Magnetismus und der Spintronic gibt: der Ursprung von Ferromagnetismus bei hohen Temperaturen in Übergangsmetall-dotierten (magnetisch verdünnten) Halbleitern und Oxiden.

Speziell durch die Rolle, die Galliumnitrid (GaN) als Basismaterial für kommerzielle Leuchtdioden einnimmt, hat sich dieses Halbleitermaterial zu einem der technologisch bedeutendsten entwickelt. Weiters wird erwartet, dass in Kombination mit magnetischen Elementen eine Vielzahl von neuen Perspektiven für die nächste Generation von Spin-elektronischen Bauelementen für Informationsspeicherung und Transfer eröffnet wird. Im Rahmen dieses Projekts haben wir daher demonstriert, dass es durch die Kombination von GaN mit magnetischen Elementen möglich ist, dieses Materialsystem maßzuschneidern, um entweder homogene magnetische Halbleiter oder auch hybride magnetische/halbleitende Strukturen zu erhalten. In letzteren ermöglichen geordnete Bereiche von funktionalen magnetischen Nanostrukturen neue Anwendungsbereiche für Bauelemente für den Transfer von Information durch magnetische Spins. Zusätzlich haben wir gezeigt, dass sich mit der Bildung von magnetischen Komplexen in Nitriden ein Material herstellen lässt, für welches man den magnetischen Zustand einstellen und mit welchem man gleichzeitig die photonischen Eigenschaften von GaN - vom derzeit sichtbaren/ultravioletten Bereich in den infraroten Wellenlängenbereich des Telekommunikationsfensters erweitern kann.

Forschungsstätte(n)
  • Universität Linz - 100%
Internationale Projektbeteiligte
  • Tomasz Dietl, Polish Academy of Sciences - Polen
  • Colin Humphreys, University of Cambridge - Vereinigtes Königreich

Research Output

  • 1178 Zitationen
  • 73 Publikationen
Publikationen
  • 2012
    Titel Ga1-xMnxN epitaxial films with high magnetization
    DOI 10.1063/1.4734761
    Typ Journal Article
    Autor Kunert G
    Journal Applied Physics Letters
    Seiten 022413
    Link Publikation
  • 2012
    Titel Element-specific characterization of heterogeneous magnetism in (Ga,Fe)N films
    DOI 10.1103/physrevb.85.184411
    Typ Journal Article
    Autor Kowalik I
    Journal Physical Review B
    Seiten 184411
    Link Publikation
  • 2016
    Titel Rashba semiconductor as spin Hall material: Experimental demonstration of spin pumping in wurtzite n-GaN:Si
    DOI 10.1103/physrevb.94.085205
    Typ Journal Article
    Autor Adhikari R
    Journal Physical Review B
    Seiten 085205
    Link Publikation
  • 2016
    Titel Controlling a three dimensional electron slab of graded AlxGa1-xN
    DOI 10.1063/1.4939788
    Typ Journal Article
    Autor Adhikari R
    Journal Applied Physics Letters
    Seiten 022105
    Link Publikation
  • 2016
    Titel Two-Probe Measurements of Electron Transport in GaN:Si/(Ga,Mn)N/GaN:Si Spin Filter Structures
    DOI 10.12693/aphyspola.130.1196
    Typ Journal Article
    Autor Kalbarczyk K
    Journal Acta Physica Polonica A
    Seiten 1196-1198
    Link Publikation
  • 2016
    Titel Stretching magnetism with an electric field in a nitride semiconductor
    DOI 10.1038/ncomms13232
    Typ Journal Article
    Autor Sztenkiel D
    Journal Nature Communications
    Seiten 13232
    Link Publikation
  • 2015
    Titel Impact of residual carbon impurities and gallium vacancies on trapping effects in AlGaN/GaN metal insulator semiconductor high electron mobility transistors
    DOI 10.1063/1.4927405
    Typ Journal Article
    Autor Huber M
    Journal Applied Physics Letters
    Seiten 032106
    Link Publikation
  • 2015
    Titel Upper bound for the s-d exchange integral in n-(Ga,Mn)N:Si from magnetotransport studies
    DOI 10.1103/physrevb.91.205204
    Typ Journal Article
    Autor Adhikari R
    Journal Physical Review B
    Seiten 205204
    Link Publikation
  • 2018
    Titel Effects of dielectric stoichiometry on the photoluminescence properties of encapsulated WSe2 monolayers
    DOI 10.1007/s12274-017-1755-4
    Typ Journal Article
    Autor Martín-Sánchez J
    Journal Nano Research
    Seiten 1399-1414
    Link Publikation
  • 2017
    Titel Raman and IR-ATR spectroscopy studies of heteroepitaxial structures with a GaN:C top layer
    DOI 10.1088/1361-6463/aa7c4b
    Typ Journal Article
    Autor Cerqueira M
    Journal Journal of Physics D: Applied Physics
    Seiten 365103
    Link Publikation
  • 2017
    Titel Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties
    DOI 10.1116/1.4973214
    Typ Journal Article
    Autor Pachlhofer J
    Journal Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
    Seiten 021504
  • 2017
    Titel All-nitride AlxGa1-xN:Mn/GaN distributed Bragg reflectors for the near-infrared
    DOI 10.1038/srep42697
    Typ Journal Article
    Autor Capuzzo G
    Journal Scientific Reports
    Seiten 42697
    Link Publikation
  • 2017
    Titel Processing and charge state engineering of MoOx
    DOI 10.1063/1.4974880
    Typ Journal Article
    Autor Martín-Luengo A
    Journal AIP Advances
    Seiten 015034
    Link Publikation
  • 2018
    Titel Europium monoxide nanocrystalline thin films with high near-infrared transparency
    DOI 10.1016/j.apsusc.2018.06.180
    Typ Journal Article
    Autor Mariscal A
    Journal Applied Surface Science
    Seiten 980-984
    Link Publikation
  • 2018
    Titel Resonant excitation of infrared emission in GaN:(Mn,Mg)
    DOI 10.1103/physrevb.97.245311
    Typ Journal Article
    Autor Kysylychyn D
    Journal Physical Review B
    Seiten 245311
    Link Publikation
  • 2018
    Titel Influence of Mn co-doping on the magnetic properties of planar arrays of Ga x Fe 4-x N nanocrystals in a GaN matrix
    DOI 10.1039/c8cp04475a
    Typ Journal Article
    Autor Del Bianco L
    Journal Physical Chemistry Chemical Physics
    Seiten 25411-25420
  • 2019
    Titel 57Fe Mössbauer study of epitaxial TiN thin film grown on MgO (1?0?0) by magnetron sputtering
    DOI 10.1016/j.apsusc.2018.09.107
    Typ Journal Article
    Autor Qi B
    Journal Applied Surface Science
    Seiten 682-691
    Link Publikation
  • 2019
    Titel Magnetotransport in phase-separated (Ga,Fe)N with ?'-GayFe4-yN nanocrystals
    DOI 10.1103/physrevb.99.085201
    Typ Journal Article
    Autor Navarro-Quezada A
    Journal Physical Review B
    Seiten 085201
    Link Publikation
  • 2019
    Titel Tuning the Size, Shape and Density of ?'-GayFe4-yN Nanocrystals Embedded in GaN
    DOI 10.3390/cryst9010050
    Typ Journal Article
    Autor Navarro-Quezada A
    Journal Crystals
    Seiten 50
    Link Publikation
  • 2019
    Titel Ferromagnetic phase transition in topological crystalline insulator thin films: Interplay of anomalous Hall angle and magnetic anisotropy
    DOI 10.1103/physrevb.100.134422
    Typ Journal Article
    Autor Adhikari R
    Journal Physical Review B
    Seiten 134422
    Link Publikation
  • 2014
    Titel Planar array of self-assembled GaxFe4-xN nanocrystals in GaN: magnetic anisotropy determined via ferromagnetic resonance
    DOI 10.1088/0957-4484/25/39/395704
    Typ Journal Article
    Autor Grois A
    Journal Nanotechnology
    Seiten 395704
    Link Publikation
  • 2014
    Titel Experimental determination of Rashba spin-orbit coupling in wurtzite n-GaN:Si
    DOI 10.1103/physrevb.89.205201
    Typ Journal Article
    Autor Stefanowicz W
    Journal Physical Review B
    Seiten 205201
    Link Publikation
  • 2012
    Titel GaMnN epitaxial films with high magnetization
    DOI 10.48550/arxiv.1205.3475
    Typ Preprint
    Autor Kunert G
  • 2012
    Titel Planar arrays of magnetic nanocrystals embedded in GaN
    DOI 10.48550/arxiv.1208.2356
    Typ Preprint
    Autor Navarro-Quezada A
  • 2012
    Titel Origin of low-temperature magnetic ordering in Ga1-xMnxN
    DOI 10.48550/arxiv.1202.6233
    Typ Preprint
    Autor Sawicki M
  • 2012
    Titel Magnetic complexes: a way to combine magnetism and photonics in semiconductors.
    Typ Conference Proceeding Abstract
    Autor Bonanni A Et Al
    Konferenz ESRF Highlights 2012
  • 2012
    Titel Origin of low-temperature magnetic ordering in Ga1-xMnxN
    DOI 10.1103/physrevb.85.205204
    Typ Journal Article
    Autor Sawicki M
    Journal Physical Review B
    Seiten 205204
    Link Publikation
  • 2012
    Titel Planar arrays of magnetic nanocrystals embedded in GaN
    DOI 10.1063/1.4747809
    Typ Journal Article
    Autor Navarro-Quezada A
    Journal Applied Physics Letters
    Seiten 081911
  • 2012
    Titel Manipulating Mn–Mgk cation complexes to control the charge- and spin-state of Mn in GaN
    DOI 10.1038/srep00722
    Typ Journal Article
    Autor Devillers T
    Journal Scientific Reports
    Seiten 722
    Link Publikation
  • 2012
    Titel Substrate-Driven Formation of Bidimensional Arrays of Co Nanocrystals in TiO2 Thin Films
    DOI 10.1021/jp309953h
    Typ Journal Article
    Autor Li T
    Journal The Journal of Physical Chemistry C
    Seiten 687-691
  • 2011
    Titel Columnar microstructure of nanocrystalline Ga1-xMnxN films deposited by reactive sputtering
    DOI 10.1016/j.jcrysgro.2011.05.012
    Typ Journal Article
    Autor Leite D
    Journal Journal of Crystal Growth
    Seiten 209-214
  • 2011
    Titel Magnetooptical Properties of (Ga,Fe)N Layers
    Typ Journal Article
    Autor Papierska J.
    Journal ACTA PHYSICA POLONICA A
    Konferenz 40th Jaszowiec International School and Conference on the Physics of Semiconductors
    Seiten 921-923
  • 2011
    Titel (Nano)characterization of semiconductor materials and structures
    DOI 10.1088/0268-1242/26/6/060301
    Typ Journal Article
    Autor Bonanni A
    Journal Semiconductor Science and Technology
    Seiten 060301
    Link Publikation
  • 2011
    Titel Fe-Mg interplay and the effect of deposition mode in (Ga,Fe)N doped with Mg
    DOI 10.1103/physrevb.84.155321
    Typ Journal Article
    Autor Navarro-Quezada A
    Journal Physical Review B
    Seiten 155321
    Link Publikation
  • 2011
    Titel Effects of s,p-d and s-p exchange interactions probed by exciton magnetospectroscopy in (Ga,Mn)N
    DOI 10.1103/physrevb.83.094421
    Typ Journal Article
    Autor Suffczynski J
    Journal Physical Review B
    Seiten 094421
    Link Publikation
  • 2016
    Titel Characterization of AlN/AlGaN/GaN:C heterostructures grown on Si(111) using atom probe tomography, secondary ion mass spectrometry, and vertical current-voltage measurements
    DOI 10.1063/1.4944652
    Typ Journal Article
    Autor Huber M
    Journal Journal of Applied Physics
    Seiten 125701
  • 2016
    Titel Decoupling of epitaxy-related trapping effects in AlGaN/GaN metal–insulator semiconductor high-electron-mobility transistors
    DOI 10.1002/pssa.201532752
    Typ Journal Article
    Autor Huber M
    Journal physica status solidi (a)
    Seiten 1222-1228
    Link Publikation
  • 2016
    Titel Stretching magnetism with an electric field in a nitride semiconductor
    DOI 10.48550/arxiv.1604.06937
    Typ Preprint
    Autor Sztenkiel D
  • 2016
    Titel All-nitride and In-free Al$_x$Ga$_{1-x}$N:Mn/GaN distributed Bragg reflectors for the near-infrared
    DOI 10.48550/arxiv.1608.07077
    Typ Preprint
    Autor Capuzzo G
  • 2016
    Titel Rashba semiconductor as spin Hall material: Experimental demonstration of spin pumping in wurtzite $n$-GaN:Si
    DOI 10.48550/arxiv.1603.06471
    Typ Preprint
    Autor Adhikari R
  • 2015
    Titel Controlling a three dimensional electron slab of graded Al$_{x}$Ga$_{1-x}$N
    DOI 10.48550/arxiv.1507.00927
    Typ Preprint
    Autor Adhikari R
  • 2015
    Titel Analytical electron microscopy study on gallium nitride systems doped with manganese and iron
    DOI 10.1088/0268-1242/30/3/035002
    Typ Journal Article
    Autor Meingast A
    Journal Semiconductor Science and Technology
    Seiten 035002
    Link Publikation
  • 2015
    Titel Incorporation of Mn in AlxGa1-xN probed by x-ray absorption and emission spectroscopy, high-resolution microscopy, x-ray diffraction, and first-principles calculations
    DOI 10.1103/physrevb.92.115308
    Typ Journal Article
    Autor Rovezzi M
    Journal Physical Review B
    Seiten 115308
    Link Publikation
  • 2013
    Titel Relation between exciton splittings, magnetic circular dichroism, and magnetization in wurtzite (Ga,Fe)N
    DOI 10.48550/arxiv.1305.7496
    Typ Preprint
    Autor Rousset J
  • 2013
    Titel Phase diagram and critical behavior of the random ferromagnet $Ga_{1-x}Mn_xN$
    DOI 10.48550/arxiv.1306.5141
    Typ Preprint
    Autor Stefanowicz S
  • 2013
    Titel Functional Mn--Mg$_k$ cation complexes in GaN featured by Raman spectroscopy
    DOI 10.48550/arxiv.1311.3097
    Typ Preprint
    Autor Devillers T
  • 2013
    Titel Manipulating Mn--Mg$_k$ cation complexes to control the charge- and spin-state of Mn in GaN
    DOI 10.48550/arxiv.1311.3106
    Typ Preprint
    Autor Devillers T
  • 2013
    Titel Magneto-Optical Effects Enhancement in DMS Layers Utilizing 1-D Photonic Crystal
    DOI 10.48550/arxiv.1301.3084
    Typ Preprint
    Autor Koba M
  • 2013
    Titel Functional Mn–Mgk cation complexes in GaN featured by Raman spectroscopy
    DOI 10.1063/1.4833024
    Typ Journal Article
    Autor Devillers T
    Journal Applied Physics Letters
    Seiten 211909
    Link Publikation
  • 2013
    Titel Relation between exciton splittings, magnetic circular dichroism, and magnetization in wurtzite Ga1-xFexN
    DOI 10.1103/physrevb.88.115208
    Typ Journal Article
    Autor Rousset J
    Journal Physical Review B
    Seiten 115208
    Link Publikation
  • 2013
    Titel Phase diagram and critical behavior of the random ferromagnet Ga1-xMnxN
    DOI 10.1103/physrevb.88.081201
    Typ Journal Article
    Autor Stefanowicz S
    Journal Physical Review B
    Seiten 081201
    Link Publikation
  • 2013
    Titel Magneto-optical effects enhancement in DMS layers utilizing 1-D photonic crystal
    DOI 10.1080/09205071.2013.762726
    Typ Journal Article
    Autor Koba M
    Journal Journal of Electromagnetic Waves and Applications
    Seiten 700-706
    Link Publikation
  • 2013
    Titel Characterization of Fe-N nanocrystals and nitrogen–containing inclusions in (Ga,Fe)N thin films using transmission electron microscopy
    DOI 10.1063/1.4816049
    Typ Journal Article
    Autor Kovács A
    Journal Journal of Applied Physics
    Seiten 033530
    Link Publikation
  • 2015
    Titel Spinodal nanodecomposition in semiconductors doped with transition metals
    DOI 10.1103/revmodphys.87.1311
    Typ Journal Article
    Autor Dietl T
    Journal Reviews of Modern Physics
    Seiten 1311-1377
    Link Publikation
  • 2015
    Titel Mn as Surfactant for the Self-Assembling of Al x Ga1–x N/GaN Layered Heterostructures
    DOI 10.1021/cg501144w
    Typ Journal Article
    Autor Devillers T
    Journal Crystal Growth & Design
    Seiten 587-592
    Link Publikation
  • 2014
    Titel Spinodal nanodecomposition in magnetically doped semiconductors
    DOI 10.48550/arxiv.1412.8062
    Typ Preprint
    Autor Dietl T
  • 2014
    Titel Experimental determination of Rashba spin-orbit coupling in wurtzite $n$-GaN:Si
    DOI 10.48550/arxiv.1402.6843
    Typ Preprint
    Autor Stefanowicz W
  • 2014
    Titel Upper bound for the s-d exchange integral in n-(Ga,Mn)N:Si from magnetotransport studies
    DOI 10.48550/arxiv.1412.3904
    Typ Preprint
    Autor Adhikari R
  • 2010
    Titel Experimental probing of exchange interactions between localized spins in the dilute magnetic insulator (Ga,Mn)N
    DOI 10.48550/arxiv.1008.2083
    Typ Preprint
    Autor Bonanni A
  • 2010
    Titel Compensation-dependence of magnetic and electrical properties in Ga1-xMnxP
    DOI 10.48550/arxiv.1010.1368
    Typ Preprint
    Autor Winkler T
  • 2009
    Titel Self-organized assembly and properties of ferromagnetic metal/semiconductor nanocomposites.
    Typ Conference Proceeding Abstract
    Autor Bonanni A
  • 2010
    Titel Effects of s,p - d and s - p exchange interactions probed by exciton magnetospectroscopy in (Ga,Mn)N
    DOI 10.48550/arxiv.1011.4850
    Typ Preprint
    Autor Suffczynski J
  • 2010
    Titel A story of high-temperature ferromagnetism in semiconductors
    DOI 10.1039/b905352m
    Typ Journal Article
    Autor Bonanni A
    Journal Chemical Society Reviews
    Seiten 528-539
    Link Publikation
  • 2010
    Titel Ohmic contacts to p-GaN Using Au/Ni-Mg-O Metallization
    DOI 10.2478/v10187-010-0058-8
    Typ Journal Article
    Autor Liday J
    Journal Journal of Electrical Engineering
    Seiten 378-381
    Link Publikation
  • 2010
    Titel Structural and paramagnetic properties of dilute Ga1-xMnxN
    DOI 10.1103/physrevb.81.235210
    Typ Journal Article
    Autor Stefanowicz W
    Journal Physical Review B
    Seiten 235210
    Link Publikation
  • 2010
    Titel OHMIC CONTACTS TO p-GaN USING Au/Ni-Mg-O METALLIZATION
    Typ Journal Article
    Autor Liday Jozef
    Journal JOURNAL OF ELECTRICAL ENGINEERING-ELEKTROTECHNICKY CASOPIS
    Seiten 378-381
  • 2010
    Titel STRUCTURAL EVOLUTION OF SPUTTERED INDIUM OXIDE THIN FILMS
    Typ Journal Article
    Autor Hotovy Ivan
    Journal JOURNAL OF ELECTRICAL ENGINEERING-ELEKTROTECHNICKY CASOPIS
    Seiten 382-385
  • 2010
    Titel Element specific characterization of heterogeneous magnetism in (Ga,Fe)N films
    DOI 10.48550/arxiv.1011.0847
    Typ Preprint
    Autor Kowalik I
  • 2010
    Titel Embedded magnetic phases in (Ga,Fe)N: Key role of growth temperature
    DOI 10.1103/physrevb.81.205206
    Typ Journal Article
    Autor Navarro-Quezada A
    Journal Physical Review B
    Seiten 205206
    Link Publikation
  • 2011
    Titel Ohmic Contacts to p-GaN Using Au/Ni-Zn-O Metallization
    DOI 10.2478/v10187-011-0049-4
    Typ Journal Article
    Autor Liday J
    Journal Journal of Electrical Engineering
    Seiten 309-312
    Link Publikation
  • 2011
    Titel Experimental probing of exchange interactions between localized spins in the dilute magnetic insulator (Ga,Mn)N
    DOI 10.1103/physrevb.84.035206
    Typ Journal Article
    Autor Bonanni A
    Journal Physical Review B
    Seiten 035206
    Link Publikation
  • 2011
    Titel Compensation-dependence of magnetic and electrical properties in Ga1-xMnxP
    DOI 10.1063/1.3535957
    Typ Journal Article
    Autor Winkler T
    Journal Applied Physics Letters
    Seiten 012103
    Link Publikation
  • 2010
    Titel Structural Evolution of Sputtered Indium Oxide Thin Films
    DOI 10.2478/v10187-010-0059-7
    Typ Journal Article
    Autor Hotový I
    Journal Journal of Electrical Engineering
    Seiten 382-385
    Link Publikation

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