Synchrotronstrahlungsinduzierte TXRF
Synchrotron Radiation induced TXRF
Wissenschaftsdisziplinen
Physik, Astronomie (100%)
Keywords
-
TOTAL REFLECTION X-RAY FLUORESCENCE ANAL,
ENERGY DISPERSIVE X-RAY FLUORESCENCE ANA,
SYNCHROTRON RADIATION,
ULTRA TRACE ELEMENT ANALYSIS,
WAFER SURFACE CONTAMINATION,
MATERIAL SCIENCE
Forschungsprojekt P 14336Synchrotronstrahlungsinduzierte TXRFChristina STERLI08.05.2000 Totalreflexions-Röntgenfluoreszonzanalyse (TXRF) ist eine spezielle Methode der energiedispersiven Röntgenanalytik, die die analytische Leitungsfähigkeit in den Ultraspurenbereich ausdehnt (Nachweisgrenzen pg (10-12 ) Bereich). Verwendet man Synchrotron Strahlung (SR) zur Anregung, so erlauben ihre speziellen Eigenschaften, wie breiter Spektralbereich, natürliche Kollimation und hohe Intensität eine Reduktion der Nachweisgrenzen in den fg Bereich (10-15 g), aber auch eine Erweiterung des detektierbaren Elementbereichs zu niederen Z Elementen (Bor, Kohlenstoff,... Aluminium) als auch zu höheren Z Elementen (Seltene Erd Elemente). Das Ziel des Projekts es, die Leistungsfähigkeit des Verfahrens weiter auszubauen und seine Anwendbarkeit in verschiedenen Gebieten zu zeigen. Vier Punkte sollen untersucht werden. * Die Oberflächenqualitätskontrolle von Halbleiteroberflächenkontaminationen ( auf und unter der, Oberfläche) im Bereich der leichten Elemente, speziell Na und AL. Die , Untersuchungen werden am SSRL, Stanford, CA in cooperation mit Prof. Pianetta und Wacker Siltronic, Burghausen durchgeführt. Die erzielten Nachweisgrenzen sollen die Erwartungen der Halbleiterindustrie (SEMATEC roadmap) mit 3E8 Atomen/cm2 für Na erfüllen. * Bor, Kohlenstoff und Sauerstoff sollen auf Halbleiteroberflächen in Kooperation mit BESSY2-Berlin und PTB- Berlin, sowie Wacker Siltronic untersucht werden. * Bestimmung von Nb in Stahlproben, von Reaktordruckgefäßen, um die gesamte Neutronendosis und damit den Materia1schaden des Druckgefäßes zu bestimmen. Die Untersuchungen werden am HASYLAB, Hamburg in Kooperation mit dem CRPP, Lausanne, CIAPSI durchgeführt. * Bestimmung von Seltenen Erdelementen in neuen Reaktorstählen für Fusionsreaktoren, ebenfalls am HASYLAB, Hamburg in Kooperation mit dem, PSI, CH und Euratom. Im Rahmen der genannten internationalen Kooperationen soll die Leistungsfähigkeit der SRT-XRF verbessert werden und die Methode im Bereich verschiedener analytischer Probleme im industriellen Bereich, sowie der Fissions- und Fusionsforschung gezeigt werden.
- Technische Universität Wien - 100%
- Peter Wobrauschek, Technische Universität Wien , assoziierte:r Forschungspartner:in
- Burkhard Beckhoff, Physikalisch-Technische Bundesanstalt - Deutschland
- Piero Pianetta, University of Stanford - Vereinigte Staaten von Amerika
Research Output
- 128 Zitationen
- 7 Publikationen
-
2004
Titel Nondestructive dose determination and depth profiling of arsenic ultrashallow junctions with total reflection X-ray fluorescence analysis compared to dynamic secondary ion mass spectrometry DOI 10.1016/j.sab.2004.04.014 Typ Journal Article Autor Pepponi G Journal Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy Seiten 1243-1249 -
2003
Titel Analysis of low Z elements on Si wafer surfaces with undulator radiation induced total reflection X-ray fluorescence at the PTB beamline at BESSY II DOI 10.1016/j.sab.2003.05.008 Typ Journal Article Autor Streli C Journal Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy Seiten 2113-2121 -
2003
Titel Analysis of organic contaminants on Si wafers with TXRF-NEXAFS DOI 10.1016/s0584-8547(03)00217-9 Typ Journal Article Autor Pepponi G Journal Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy Seiten 2245-2253 -
2003
Titel Comparison of synchrotron radiation total reflection X-ray fluorescence excitation–detection geometries for samples with differing matrices DOI 10.1016/s0584-8547(03)00220-9 Typ Journal Article Autor Pepponi G Journal Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy Seiten 2139-2144 -
2002
Titel Total Reflection X-ray Fluorescence Analysis (TXRF) using the high flux SAXS camera DOI 10.1016/s0168-9002(02)00463-1 Typ Journal Article Autor Wobrauschek P Journal Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detector Seiten 569-572 -
2001
Titel Synchrotron radiation total reflection X-ray fluorescence and energy dispersive X-ray fluorescence analysis on AP1™ films applied to the analysis of trace elements in metal alloys for the construction of nuclear reactor core components: a comparison DOI 10.1016/s0584-8547(01)00317-2 Typ Journal Article Autor Pepponi G Journal Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy Seiten 2063-2071 -
2014
Titel Novel Method to Study Neutron Capture of U235 and U238 Simultaneously at keV Energies DOI 10.1103/physrevlett.112.192501 Typ Journal Article Autor Wallner A Journal Physical Review Letters Seiten 192501 Link Publikation